Kasutusvalmis magnetronpihustusseadme tarnimine õhukesekilematerjalide arenduseks

Kokkuvõte

Kasseli ülikool hangib kasutusvalmis automatiseeritud mitme sihtmärgiga magnetronpihustusseadme õhukesekilematerjalide arendamiseks, eelkõige kuni 150 mm läbimõõduga vahvlite katmiseks ülikooli puhasruumis. Seade peab sisaldama kolme 2-tollist magnetronpihustusallikat, 500 W alalisvoolutoiteallikat ja 1 kW bipolaarset impulss-alalisvoolutoiteallikat, kolme eraldi reguleeritavat protsessigaasiliini, vähemalt 600 °C-ni kuumutatavat pöörlevat substraadilauda, eelpingevarustust, motoriseeritud katikuid ning programmeeritavate protsessidega arvutipõhist juhtimist. Tarne hõlmab ka arvuti- ja tarkvaralahendust, paigaldust, kasutuselevõttu, kasutajate juhendamist, dokumentatsiooni ja garantiid. Tarne tähtaeg on 15. märts 2027 ning kogu süsteemi kasutuselevõtt peab toimuma hiljemalt 15. aprilliks 2027; hange ei ole osadeks jaotatud.