Raadiosagedusliku magnetronpihustamise süsteemi tarne, paigaldus, käivitamine ja kasutajakoolitus

Kokkuvõte

Hankega ostetakse BCMaterialsile üks modulaarne raadiosagedusliku magnetronpihustamise süsteem õhukeste kihtide sadestamiseks. Edukas pakkuja peab seadme tarnima, paigaldama ja käivitama, tegema kohapealse vastuvõtukatse ning korraldama kasutajatele väljaõppe ja andma üle kasutus- ja hooldusdokumentatsiooni. Süsteem peab vastama tehnilistele miinimumnõuetele, sealhulgas saavutama baassurve kuni 1 × 10⁻⁶ mbar, töötama argooniga ning võimaldama vähemalt 100 mm läbimõõduga substraatide kasutamist ja sadestuse jälgimist. Seadme garantii peab olema vähemalt üks aasta. Hange ei ole osadeks jaotatud. Pakkuja peab esitama elektroonilise pakkumuse koos Euroopa ühtse hankedokumendi ja nõutud lisadega ning tõendama hankedokumentides sätestatud majanduslikku ja tehnilist suutlikkust; esitatud dokumentides ei ole selleks täpseid käibe- ega referentslävendeid nimetatud. Pakkumuses tuleb kirjeldada tehnilist lahendust ja esitada hind. Tehnilisi omadusi hinnatakse kuni 55 punktiga, garantii pikendamist kuni 5 punktiga; alla 24-kuuline garantii lisapunkte ei anna, vähemalt 24-kuuline annab 2,5 punkti ja vähemalt 36-kuuline 5 punkti.