Süvareaktiivioon-söövitusseade (DRIE)

Kokkuvõte

Uppsala ülikool hangib Myfab Uppsala ülikooli laborile ühe süvareaktiivioon-söövitusseadme (DRIE). Seadmega kantakse üle fotolitograafia ja elektronkiirlitograafiaga loodud mustreid ning söövitatakse räni ja sellega sobivaid materjale, kasutades mustritena fotoresisti või kõvasid maske. Seade peab võimaldama mitmesuguseid söövituskiirusi, vahvlite tükeldamist, suurt ühtlust, suurt avatud ala, suurt kuvasuhet ja nanomeetrilist töötlust; lisaks võib hõlmata hooldust, uuendusi, lisaseadmeid ja täiendavaid funktsioone.