Hanke detail
Räni dielektrikute reaktiivioon-söövitusseadme tarne ja paigaldus
Kokkuvõte
Taani Tehnikaülikooli DTU Nanolab hangib ränioksiidide ja -nitriidide töötlemiseks mõeldud suure ioonitihedusega reaktiivioon-söövitusseadme tarne ja paigalduse. Seade peab töötlema 150 mm vahvleid; lisavarustusena tuleb pakkuda komplekti 200 mm vahvlite töötlemiseks ning DTU-l on võimalus osta veel üks samasugune seade. Tarne on kavandatud hiljemalt 2027. aasta kolmandaks kvartaliks.
Rohkem hankeinfot sisselogimisel
Avalik vaade näitab hanke põhiandmeid. Logi sisse, et avada ametlikud lingid, dokumendid ja AI hankeabi.