Süvareaktiivioon-söövitusseadme hankimine

Kokkuvõte

Uppsala ülikooli Myfab Uppsala hangib ühe süvareaktiivioon-söövitusseadme mustrite ülekandmiseks foto- ja elektronkiirlitograafiaga töödeldud aluspindadele, sealhulgas nanomeetri skaalas. Seadet kasutatakse ülikooli laborikeskkonnas räni ja teiste sobivate materjalide söövitamiseks, nii fotoresisti kui ka kõva maskiga; vajalikud tööprotsessid ulatuvad madalast kuni suure söövituskiiruseni ning hõlmavad muu hulgas vahvlite tükeldamist, ühtlast söövitust ja suure kuvasuhtega struktuure. Leping hõlmab võimalusena ka hoolduslepingut, uuendusi, lisaseadmeid ja lisafunktsioone.