Süvareaktiivne ioon-söövitusseade (DRIE)

Kokkuvõte

Uppsala ülikool hangib Myfab Uppsala ülikoolilaborisse süvareaktiivse ioon-söövitusseadme (DRIE). Seadmega kantakse üle fotolitograafia ja elektronkiirelitograafia abil loodud mustreid ning söövitakse räni ja sellega sobivaid materjale. Seade peab võimaldama eri söövituskiirusi, vahvlite tükeldamist, suurt ühtlust ja avatud ala, suurt küljesuhet ning nanomeetrilise mõõtkavaga töötlemist. Hange hõlmab ka hoolduslepingut, uuendusi, täiendusi, tarvikuid ja lisafunktsioone.