Liitiumniobaadi isolaatoril suure ioonitihedusega söövitusseadme tarnimine ja paigaldamine

Kokkuvõte

Hange puudutab suure ioonitihedusega reaktiivse iooniga söövitusseadme tarnimist ja paigaldamist DTU Nanolabi puhasruumi. Seade peab võimaldama töödelda 150 mm liitiumniobaati isolaatoril, kasutada stabiilseid söövitusretsepte ning söövitada nii nanomeetri- kui ka mikromeetriskaalal, tavaliselt mõnesaja nanomeetri sügavuseni. Olulised on täpne söövitussügavuse kontroll, profiili juhtimine, ühtlus, selektiivsus ja eriti siledate külgseinte saavutamine optiliste lainejuhtide, võrede ja muude väikese karedusega optiliste seadiste valmistamiseks. Tarnimine on kavandatud hiljemalt 2027. aasta neljandas kvartalis ning pakkumuste esitamise tähtaeg on 8. oktoober 2026.