Reaktiivse ioon-söövituse seadmed

Kokkuvõte

Hange puudutab reaktiivse ioon-söövituse seadmeid vabalt seisvate lainejuhtide valmistamiseks ning teemandi ja ränikarbiidi proovide töötlemiseks. Seadmed peavad võimaldama samas kambris kahte erinevat söövitusrežiimi, plasma tiheduse ja ioonienergia eraldi juhtimist, aktiivset heeliumiga tagaküljejahutust ning pinnakihtide õrna eemaldamist. Teemandi töötlemiseks on vaja puhast hapnikuplasmat ja ränikarbiidi jaoks fluorikeemiat SF6/CHF3. Gaasiboksis peab olema vähemalt 5 ühendust fluori- ja hapnikuprotsesside jaoks ning seadmetel avatud laadimisega lahendus väikeste ebakorrapärase kujuga proovide töötlemiseks kandurpooljuhtidel. Menetlus on avatud ja pakkumuste esitamise tähtaeg on 4. september 2026 kell 00:00. Täpsed vastavus- ja pakkumuse esitamise nõuded tuleb kontrollida hankedokumentidest.