Elektronkiirega aurusti

Kokkuvõte

Hange puudutab ühe elektronkiirega aurustussüsteemi tarnimist, paigaldamist ja kasutuselevõttu Max-Plancki Mikrostruktuurifüüsika Instituudis Halles. Pakutav terviklahendus peab sobima õhukeste kihtide täpseks sadestamiseks kõrgvaakumis ning vastama tehnilistele miinimumnõuetele. Süsteem peab muu hulgas sisaldama vähemalt 500 mm sisekõrgusega PVD-platvormi, pöörlevat 100 × 100 mm või 100 mm läbimõõduga aluste jaama, vaakumpumpasid, vaakumimõõtesüsteemi, elektronkiire allikat võimsusega kuni 6 kW, vähemalt nelja vähemalt 7 cm³ mahuga taskut, kvartsandurit, õhukesekile sadestamise kontrollerit, Windowsi-põhist juhtimistarkvara ning paigaldust, kasutuselevõttu ja kasutajate väljaõpet. Tarneaeg on kuni 10 kuud pärast tellimuse esitamist ning garantii peab kestma vähemalt 24 kuud. Pakkumusele tuleb lisada eraldi üksikasjalik tehniline spetsifikatsioon. Hind on ainus hindamiskriteerium ja selle osakaal on 100%.