Plasmawäscher

Kokkuvõte

Plasmawäscheri (plasma abatement) süsteemi hange hõlmab gaaside ja osakeste puhastust PECVD ja RIE/DRIE protsesside poolt ning võib olla kuni 10 kambriline konfiguratsioon; leping on kavandatud 200 000 euro netona; pakkuja peab esitama ettevõtte profiili, käibeandmed aastatel 2022–2024, vähemalt kolm võrdlevat projekti koos kliendiandmetega ning vastavad kõrvaldamis- ja vastavusdeklaratsioonid (sh EU 833/2014). Lisaks tuleb esitada eksportklassifikatsiooni vormid ning post-versioon ja muud nõutud dokumendid ning kohustuslikud NHS-sätted vastavalt hankedokumentidele.