8-tolliste vahvlite sadestusseade

Kokkuvõte

Müncheni tehnikaülikooli tehnilise füüsika õppetool hangib ülikõrgvaakumi klastrisüsteemi ülijuhtivate ahelate valmistamiseks 8-tollistel vahvlitel. Süsteem peab sisaldama kõrgepinge laadimislüüsikambrit, keskset käsitsemiskambrit, alumiiniumi õhukeste kilede aurustamise, ülijuhtide pihustamise, oksüdeerimise ja argooniioon-freesimise ülikõrgvaakumikambreid ning ümberpööramisjaama. Seade peab võimaldama vahvlite mõlema poole kohapealset metalliseerimist minimaalse tagakülje osakestesaastega ja vahvlite käsitsemist ainult servast. Masinloetavas teates ei ole täpsustatud pakkuja kvalifitseerimis- ega kõrvaldamisnõudeid; need tuleb kontrollida hankedokumentidest.