Hanke detail
Laboratoorsüsteemi tarnimine Spatial ALD jaoks
Kokkuvõte
Hange puudutab Spatial ALD-tehnoloogia jaoks laboratoorse depositsioonisüsteemi tarnimist; süsteem peab olema integreeritav gloveboxi ja kaasama plasmaallikat plasma-toega ALD protsesside jaoks.
Rohkem hankeinfot sisselogimisel
Avalik vaade näitab hanke põhiandmeid. Logi sisse, et avada ametlikud lingid, dokumendid ja AI hankeabi.