Hanke detail
Nanoprobeerimise platvorm
Kokkuvõte
Hankega ostetakse integreeritud nanoprobeerimise platvorm (4-Bot), mis sisaldab täiustatud elektriliste rikete analüüsi (EFA) ja vaakumülekandemoodulit (VTM). Seade on mõeldud eri materjalide ülitäpseks ruumiliselt eristatud elektriliseks uurimiseks mikroelektroonika ja energiarakenduste valdkonnas kombineeritud SEM/FIB-süsteemis.
Rohkem hankeinfot sisselogimisel
Avalik vaade näitab hanke põhiandmeid. Logi sisse, et avada ametlikud lingid, dokumendid ja AI hankeabi.